- SEM的分辨率可认为是约等于检测信号激发区域在样品表面的投影宽度（Interaction Volume）
- 二次电子(主要是 SE1)信号逸出区域的直径与电子束斑的直径基本相当，获得的分辨率较好
- 理论上俄歇电子作用更浅，但因为产额（yield）太小、能量太低，通常不使用
- 背散射电子作用区域较大，分辨率比二次电子低
- 特征X射线由于产生区域更深，因此分辨率比背散射电子还低
加速电压
- 电子束的像差和衍射效应在低电压下的影响非常明显，提高加速电压能够有效降低上述影响，因此能够提升分辨率
- 提升加速电压会使得：
- 入射电子的穿透深度变大，会带来更多的样品内部信号，掩盖了样品表面细节信息
- 边缘位置的二次电子产额较高，图像中衬度降低，在高加速电压下边缘效应会更加明显，衬度过亮会掩盖细节信息
- 损伤样品
工作距离 （Working Distance）
- 当工作距离减小时，电子束聚焦的会聚角增大，在获得更小束斑尺寸的同时也能够保证一定的束流，且由于样品更靠近探测器能够提升信号接收效率，有利于分辨率的提升
- 但是，减小工作距离会减少景深，因此小工作距离用于高分辨成像，高工作距离用于观察断口等需要景深的样品
磁透镜励磁电流
- 随励磁电流增大，电子束的会聚能力加强，电子束束斑尺寸减小，有助于分辨率提高，但此时较多的电子束被光阑遮挡，导致束流降低，图像衬度变差，信噪比降低
- 当励磁电流减小，电子束束流增大，但束斑也随之增大，图像信噪比提高，但分辨率降低
